用語集電気用語集>超純水

電気用語集


超純水 / ちょうじゅんすい電気用語集 ち


項目 超純水 / ちょうじゅんすい
英語 hyperpure water
意味 粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率(25℃)が15〜20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。


電気用語集 五十音順